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1 引言
超精密加工机床的研制开发始于20世纪60年代。当时在美国因开发激光核聚变实验装置和红外线实验装置需要大型金属反射镜，因而急需开发制作反射镜的超精密加工技术。以单点金刚石车刀镜面切削铝合金和无氧铜的超精密加工机床应运而生。1980年美国在世界上首次开发了三坐标控制的M-18AG非球面加工机床，它标志着亚微米级超精密加工机床技术的成熟。日本的超精密加工机床的研制开发滞后于美国20年。从1981～1982年首先开发的是多棱体反射镜加工机床，随后是磁头微细加工机床、磁盘端面车床，近来则是以非球面加工机床和短波长X线反射镜面加工机床为主。德国、荷兰以及中国台湾的超精密加工机床技术也都处于世界先进水平。我国的超精密加工机床的研制开发工作虽起步比较晚，但经过广大精密工程研究人员的不懈努力，已取得了可喜的成绩。哈尔滨工业大学精密工程研究所研制开发的HCM-Ⅰ超精密加工机床，主要技术指标达到了国际水平。国外部分超精密加工机床和HCM-Ⅰ超精密加工机床的性能指标如表1所示。本文主要论述超精密加工机床的关键部件技术。
表1 国内外典型超精密车床性能指标汇总
| 型号(生产厂家) |
HCM-Ⅰ
(中国哈工大) |
M-18AG
(莫尔特殊机床,美国) |
Ultraprecision CNC machine
(东芝,日本) |
Ultraprecision Lathe
(IPT，德国) |
| 主轴 |
径向跳动(µm) |
|
≤0.075 |
≤0.05(500r/min) |
≤0.048 |
| 轴向跳动(µm) |
|
≤0.05 |
≤0.05(500r/min) |
|
| 径向刚度(N/µm) |
220 |
|
100 |
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| 轴向刚度(N/µm) |
160 |
|
200 |
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| 导轨 |
Z向(主轴)直线度 |
＜0.2µm/100mm |
≤0.5µm/230mm |
|
0.044µm/80mm |
| X向(刀架)直线度 |
＜0.2µm/100mm |
≤0.5µm/410mm |
|
0.044µm/80mm |
| X、Z向垂直度(") |
≤1 |
1 |
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| 重复定位精度(µm) |
|
1(全程)
0.5(25.4mm) |
|
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加工
工件
精度 |
形面精度(µm) |
圆度：0.1 |
平面度：0.3 |
＜0.1(P-V值) |
0.1 |
| 表面粗糙度(µm) |
Ra0.0042 |
0.0075(P-V值) |
Ra0.002 |
0.002～0.005RMS |
| 位置反馈系统分辨率(µm) |
|
25 |
2.5 |
10 |
| 温控精度(℃) |
≤0.004 |
±0.006 |
±0.1 |
|
| 隔振系统固有频率(Hz) |
≤2 |
2 |
|
|
| 加工范围(mm) |
320 |
356 |
650×250 |
2 主轴系统
超精密加工机床的主轴在加工过程中直接支持工件或刀具的运动，故主轴的回转精度直接影响到工件的加工精度。因此可以说主轴是超精密加工机床中最重要的一个部件，通过机床主轴的精度和特性可以评价机床本身的精度。目前研制开发的超精密加工机床的主轴中精度最高的是静压空气轴承主轴(磁悬浮轴承主轴也越来越受到人们的重视，其精度在迅速得到提高)。空气轴承主轴具有良好的振摆回转精度。主轴振摆回转精度是除去轴的圆度误差和加工粗糙度影响之外的轴心线振摆，即非重复径向振摆，属于静态精
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