机械制造技术从提高精度与生产率两个方面同时迅速发展起来。在提高生产率方面，提高自动化程度是各国致力发展的方向，近年来，从C N C到C I M S发展迅速，并且在一定范围内得到了应用。从提高精度方面，从精密 加工 发展到超精密 加工 ，这也是世界各主要发达国家致力发展的方向。其精度从微米到亚微米，乃至纳米，其应用范围日趋广泛，在高技术领域和军用工业以及民用工业中都有广泛应用。如激光核聚变系统、超大规模集成电路、高密度磁盘、精密雷达、导弹火控系统、惯导级陀螺、精密机床、精密仪器、录象机磁头、复印机磁鼓、煤气灶转阀等都要采用超精密 加工 技术。 精密 加工 技术的发展促进了机械、液压、电子、半导体、光学、传感器和测量技术以及材料科学的发展。
1超精密 加工 技术概述 精密 加工 目前就其质来说是要实现以现有普通精密 加工 手段还达不到的高精度加工 ，就其量来说是要加工 出亚微米乃至毫微米级的形状与尺寸赖皮并获得纳米级的表面粗糙度，但究竟多少精度值才算得上超精密 加工 一段要视零件大小、复杂程度以及是否容易变形等因素而定。 精密 加工 主要包括超精密切削(车、铣) 超精密磨削、超精密研磨 加工 等)以及超精密特种加工 (电子束、离子束以及激光束加工 等)。上述各种方法均能加工 出普通精密 加工 所达不到的尺寸精度、形状精度和表面质量。每种超精密 加工 方法都是针对不同零件的要求而选择的。
1．1超精密切削加工 加工 的特点是采用金刚石刀具。金刚石刀具与有色金属亲和力小，其硬度、耐磨性以及导热性都非常优越，且能刃磨得非常锋利(刃口圆弧半径可小于 ρ0．01 μm，实际应用一般ρ0，05 μm) 可加工 出优于Ra0．01 μm的表面粗糙度。此外，超精密切削加工 还采用了高精度的基础元部件(如空气轴承、气浮导轨等)、高精度的定位检测元件(如光栅、激光检测系统等)以及高分辨率的微量进给机构。机床本身采取恒温、防振以及隔振等措施，还要有防止污染工件的装置。机床必须安装在洁净室内。进行超精密切削加工 的零件材料必须质地均匀，没有缺陷。在这种情况下加工 无氧铜，表面粗糙度可达到Ba0．005μm，加工 φ800mm的非球面透镜，形状精度可达0．2／μm。超精密 加工 技术在航空航天、光学及民用等领域的应用十分广泛(见表1) 并向更高精度等方向发展(见表2)。
加工 对象主要是玻璃、陶瓷等硬脆材料，磨削加工 的目标是范成3—5nm的平滑表面，也就是通过磨削加工 而不需抛光即可达到要求的表面粗糙度。作为纳米级磨削加工 ，要求机床具有高精度及高刚度，脆性材料可进行可延性磨削(Ductile Grinding)。纳米磨削技术对燃气涡轮发动机，特别是对要求高疲劳强度材料(如飞机的喷气发动机涡轮用的陶瓷材料)的加工 ，是重要而有效的加工 技术。 加工 出0．0 1μm圆度， O．1μm尺寸精度和
超精密加工机床的关键部件技术 模具精密加工综述 京瓷工具强化精密加工优势 机械加工，精密加工方法——研磨
