( Lithographie， Galvanoformung， Abformung) 加工 精度可达0.1μm 加工 技术、测量技术、自动化技术、汽车及交通技术、电力及能源技术、航空及航天技术、纺织技术、精密工程及光学、微电子学、生物医学、环境科学和化学工程等。
2.2．4扫描隧道显微镜( STM)技术
C．binning和H．Robrer发明的扫描隧道显微镜不但使人们可以以单个原子的分辨率观测物体的表面结构，而且也为以单个原子为单位的纳米级加工 提供了理想途径。应用扫描隧道显微镜技术可以进行原于级操作、装配和改型。S T M将非常尖锐的金属针接近试件表面至1nm左右，施加电压时隧道电流产生，隧道电流每隔0．1nm变化一个数量级。保持电流一定扫描试件表面，即可分辨出表面结构。一般隧道电流通过探针尖端的一个原子，因而其横向分辨率为原于级。 加工 技术不仅可以进行单个原于的去除、添加和移动，而且可以进行STM光刻、探针尖电子束感应的沉淀和腐蚀等新的 S T M加工 技术。
2．3纳米测控技术 加工 离不开纳米级的测量技术，而这二者都离不开控制技术，超高精度的定位技术是实现纳米级控制的关键。
2．3．1纳米测量技术
2．3．2纳米定位控制技术 加工 中，需要纳米级的三维定位与控制。目前用一个执行元件来实现大范围的纳米级定位是比较困难的。因此，实际的定位机构多采用大位移用的执行元件和纳米定位用的执行元件相组合方式来实现。实现三维定位与控制，目前普遍采用压电陶瓷致动器件，它在微米级的极小范围内通过控制系统能实现近似的三维驱动。此外，利用电致材料、静电或磁轴承式结构，以及静电致动的高精度定位控制技术
超精密加工机床的关键部件技术 模具精密加工综述 京瓷工具强化精密加工优势 机械加工，精密加工方法——研磨
