加工表面粗糙度： Ra0．005—0．020μm；
4精密偶件超精密加工技术
4．1概述
精密偶件技其形状可分为圆柱面偶件、平面偶件、球面偶件和导形柱面偶件。精密偶件在航空航天、精密机械、精密仪器、能源交通等部门的应用十分广泛，就其专业性质来说，液压工业应用最多。根据偶件的材料、精度、使用场合及批量的不同有各种加工方法。对于平面偶件，主要采用超精密磨削、研磨或超精密车削等，对于圆柱面及球面偶件主要采用研磨、磨削、滚压、伤磨、金刚石及CBN铰削等工艺。
精密偶件制造技术的发展也是精密加工、超精密加工技术时发展过
程，60年代美国制成第一台具有0．025μm的进给分辨率、加工圆度到O．125μm的外圆磨床，精密偶件的加工逐渐步入了超精密加工范畴，随后各种精密与超精密加工技术的发展使精密偶件的制造技术不断发展。
用超精密加工技术解决精密偶件的加工，己引起了国外的重视，特别是在军事工业中投入了大量人力、物力来解决精密偶件的制造技术问题。目前利用超精密加工技术来解决精密偶件制造中的关键问题，尚处于起步阶段，国内一些单位主要利用高精度磨床进行偶件磨别，也利用超精密技术改装原有精密设备使之提高精度，国内尚无真正的超精密磨床、超精密研磨机等超精密加工设备。目前，三O三所针对航空、航天、舰艇及武器系统等制造技术的需要，在国防科技超精密加工重点实验室的基础上，研制了一系列的超精密加工设备(包括超精密车、镗、外圆磨、超精密平磨、超精密研磨机、超精密金刚石研磨机)以及轴向配磨装置等，并进一步进行工艺研究。
4．2研究内容
4．2.1内、外圆柱偶件及平面偶件超精密车削、 镗削及磨削技术研究
该项技术可直接用于工厂生产，如陀螺仪零件、油泵转子、配油盘、平面反射镜等生产，解决有色金属圆柱形偶件及平面偶件的加工。应达到的技术指标如下：
圆柱度：0．1——O.3μm
圆度： O．05——O．1μm
尺寸精度： O.1——O．5μm
粗糙度： Ra0．005——O.02μm
平面度：λ／5(φlOOmm)
4．2．2圆柱偶件的外因磨削技术研究
进行超精密外因磨削的装置的研究，并研究超精密磨削中的砂轮修
整、动平衡、尺寸控制、温度控制及超精密磨削工艺。上述技术可直接用于工厂生产，如伺服伺服阀柱塞、惯导零件、振动筒等生产，可用于黑色金属及其它高硬度材料的圆柱形偶件的加工。应达到的技术指标如下：
圆柱度： O．1——O．3μm
径向配合精度： O．3——0．8μm
粗糙度： Ra0．O05——0．02μm
4．2．3大批量外因、柱体、球及平面偶件的超精密研磨技术
进行可用于大批量生产用的研磨圆柱体、球及平面的超精密研磨装置及其相应加工工艺的研究，此技术可用于柱塞泵、惯导中超精密轴承精化、平面反射镜等元件的加工，可直接用于生产。应达到的技术指标如下：
圆柱度：0．3——O．5μm
球度： O．05——O．1μm
平面度：0．05——O．1μm
尺寸精度：0．1——O．5μm
粗糙度：0．01——O．02μm
4．2．4内孔的金刚石及CBN超硬磨料超精密研、珩技术研究
进行超精密外因磨削工艺与ELID修整工艺的研究，使研珩工具的精度达到超精密水平，从而使加工零件达到更高水平以解决现在圆拄内孔加工的技术难点。研制出一套超精密研、珩工具及加工工艺方法，提供超精密研、珩工具及夹具，可直接用于生产。应达到的技术指标如下：
圆柱度： O．1——O．5μm
尺寸精度：0．3——0．8μm
粗糙度：RaO．01——0．04μm
4．2．5内、外径高精度尺寸测量技术研究
研究一种内、外径尺寸测量的方法及仪器。其技术指标如下：
分辨率： O．Ol——O．02μm
稳定性：0．02μm／2小时
测量不稳定性：土
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