5 结论 超精密加工技术自五十年代发展至今,已有四十年的历史。随着现代科学技术的发展,对超精密加工技术不断提出了新的要求。新材料及零件的出现、更高精度要求的提出等都需要超精密加工技术在原有的基础上不断发展,如提高传统超精密加工的精度,并提出新的超精密加工工艺,完善现代超精密加工技术,以适应现代科技的发展。
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